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Máquina compacta de recubrimiento por pulverización catódica de magnetrón rf de 2 pulgadas para películas delgadas no metálicas

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Máquina compacta de recubrimiento por pulverización catódica de magnetrón rf de 2 pulgadas para películas delgadas no metálicas

Máquina compacta de recubrimiento por pulverización catódica de magnetrón rf de 2 pulgadas para películas delgadas no metálicas

  • :

    VTC-2RF
  • MOQ :

    1
  • :

    20 days
  • Compliance:

    CE Certified
  • Warranty:

    1 year
  • Delivery Time:

  • Correo electrónico :

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Máquina compacta de recubrimiento por pulverización catódica de magnetrón rf de 2 pulgadas para películas delgadas no metálicas


vtc-2rf es un sistema compacto de pulverización de magnetrón de plasma rf de cabeza simple de 2 "que cubre una película delgada no metálica, principalmente de óxido. Integra todos los componentes en un gabinete de soporte de un solo piso, incluyendo fuente de energía rf, cámara de vacío de cuarzo, bomba de vacío, agua de recirculación Enfriador y monitor de espesor de película, etc. es un excelente y rentable recubrimiento para recubrir películas delgadas de material no conductor en I + D;

presupuesto

potencia de entrada

  • 220 vac, 50 / 60hz, monofásico
  • 800 w (incluida la bomba)
  • Si el voltaje es de 110 vac, se requiere un transformador de 1000 w, haga clic en la imagen de la izquierda para ordenar

fuente de poder

  • uno 13.5 mhz, generador de 300 w rf con ajuste automático La función está integrada en el gabinete y conectada a un cabezal de pulverización catódica de 2 ".
  • opcional: la fuente de poder de pulverización de CC está disponible para recubrir material metálico

cabeza de pulverización catódica de magnetrón



  • Se incluyen un cabezal de pulverización catódica de magnetrón de 2 "con camisas de refrigeración por agua y se inserta en la cámara de cuarzo mediante una abrazadera rápida
  • un obturador está construido en la brida (operado manualmente)
  • Se requiere un enfriador de agua de recirculación controlado digitalmente de 16 l / min para enfriar los cabezales de pulverización catódica de magnetrón
  • El cabezal de pulverización catódica de 1 "es reemplazable y opcional a un costo adicional
  • El cable rf de 148 cm se puede reemplazar con un costo adicional

objetivo de bombardeo

  • requisito de tamaño objetivo: 2 "diámetro x 1/4" espesor máximo
  • Se incluye un objetivo sio2 para la prueba de demostración.
  • objetivo de cerámica al2o3 recomendar método de recubrimiento
  • los objetivos opcionales de pulverización catódica de 2 "(con placa de respaldo) están disponibles a pedido a un costo adicional.

cámara de vacío

  • cámara de vacío: 160 mm od x 150 mm id x 250 mm de altura. hecho de cuarzo de alta pureza
  • brida de sellado: 165 mm de diámetro. hecho de aluminio con junta tórica de silicona de alta temperatura
  • Se incluye una cubierta de malla de acero inoxidable para proteger al 100% la radiación RF de la cámara
  • nivel de vacío: 1.0e-2 torr con bomba mecánica de doble etapa incluida y 1.0e-5 torr con turbobomba opcional

portamuestras

  • El portamuestras es giratorio y se puede calentar con un calentador de cerámica con cubierta de acero inoxidable.
  • El tamaño del soporte de la muestra: 50 mm de diámetro. para obleas de 2 "máx.
  • La velocidad de rotación es ajustable: 1 - 10 rpm para un recubrimiento uniforme
  • la temperatura del soporte es ajustable de rt a 500 ° c máx. con una precisión de +/- 1.0 ° c a través del controlador de temperatura digital.
  • El soporte para muestras de calentamiento de 800- 1000ºc está disponible a pedido.
  • La retención de muestra de vibración opcional está disponible para el recubrimiento de DVD de potencia. (foto 3 a continuación)

estación de bombeo de vacío


  • El puerto de vacío kf25 está integrado para conectarse a una bomba de vacío.
  • Se requiere una bomba de vacío con adaptador kf25, pero no incluida. Haga clic en la imagen para ordenar por separado.
  • nivel de vacío: 1.0e-2 torr con bomba mecánica de doble etapa y 1.0e-5 torr con la turbobomba

Opcional

  • El sensor de precisión de espesor de cuarzo es opcional, que puede integrarse en la cámara para controlar el espesor del recubrimiento con una precisión de 0,10 Å. la computadora portátil es necesaria para el grosor de la pantalla

dimensiones totales

Peso neto

  • 70 kg

garantía & amp; conformidad

  • garantía limitada de un año con soporte de por vida
  • certificado ce
  • la certificación nrtl o csa está disponible a pedido con un costo adicional

notas de aplicación

  • esta compacta capa de pulverización catódica de magnetrón de 2 "rf está diseñada para recubrir películas delgadas de óxido sobre sustratos de cristal simple de óxido, que generalmente no necesitan una configuración de alto vacío
  • por favor use & gt; 5n pureza ar gas para pulverización de plasma
  • para obtener la mejor resistencia de adhesión del sustrato de película, limpie la superficie del sustrato antes de recubrir:
    • limpieza ultrasónica con los siguientes baños secuenciales: (1) acetona, (2) alcohol isopropílico, para eliminar el aceite y la grasa. seque el sustrato con n2, luego hornee en vacío para eliminar la humedad absorbida
    • La limpieza por plasma puede ser necesaria para la rugosidad de la superficie, la activación de enlaces químicos de la superficie o la eliminación de contaminación adicional
    • Se podría aplicar una capa de tampón delgada (~ 5 nm), como cr, ti, mo, ta, para mejorar la adhesión de metales y aleaciones
  • Para obtener el mejor rendimiento, los objetivos no conductores deben instalarse con una placa de respaldo de cobre. consulte el video de instrucciones a continuación (# 3) para la vinculación de objetivos
  • tmax utiliza los recubrimientos que han recubierto con éxito zno en todos 2 o 3 sustrato a 500 ° c (perfil xrd en la foto n. ° 5)
  • No use agua del grifo en el enfriador de agua. use agua di, agua destilada o aditivos anticorrosivos como colant.





Magnetron Sputtering Coating









paquete:

1 paquete estándar exportado: protección anticolisión interna, embalaje de caja de madera de exportación externa.

2 envío por expreso, por aire, por mar de acuerdo con los requisitos de los clientes para encontrar la forma más adecuada.

3 responsable del daño durante el proceso de envío, cambiará la parte dañada por usted de forma gratuita.

el tiempo de entrega : 15-20 días después de confirmar el pedido, la fecha de entrega detallada debe decidirse de acuerdo con

Temporada de producción y cantidad de pedido.