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Máquina compacta de recubrimiento por pulverización catódica de magnetrón DC con integración PLC

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Máquina compacta de recubrimiento por pulverización catódica de magnetrón DC con integración PLC

Máquina compacta de recubrimiento por pulverización catódica de magnetrón DC con integración PLC

  • :

    VTC-16-SM
  • MOQ :

    1
  • :

    20 days
  • Compliance:

    CE Certified
  • Warranty:

    1 year
  • Delivery Time:

  • Correo electrónico :

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Máquina compacta de recubrimiento por pulverización catódica de magnetrón DC con integración PLC



vtc-16-sm es un Alto Voltaje escritorio magnetrón recubrimiento por pulverización catódica con un cabeza de objetivo de 2 "de enfriamiento por agua , enfriador de agua y soporte de muestra giratorio. la unidad de recubrimiento está diseñada para recubrir todas las películas metálicas hasta Oblea de 4 "de diámetro incluso zn, al, ti y carbono Película ligera a un costo asequible. Se incluye un objetivo para uso inmediato. ( desde el 18 de mayo de 2015, este producto ya no viene con bomba de vacío en paquete estándar. )

presupuesto

voltaje de entrada

  • 220 vac 50 / 60hz
  • La alimentación de 110 v está disponible utilizando un Transformador de 1000 w (fusible de 15 a ) El transformador se vende por separado.

potencia de salida

  • 1600 vdc
  • 250 w
  • 150 ma máx.
  • protección integrada contra sobrecorriente (& gt; 150 ma)

cámara de muestras

  • tubo de vidrio de cuarzo, 165 mm od. x 150 mm id x 250 mm de altura


farfulla cabeza & amp;
etapa de muestra


  • Se incluye un cabezal de pulverización flexible de magnetrón de 2 "con camisa de refrigeración por agua (fig.1)
  • una etapa de muestra de acero inoxidable de 50 mm de diámetro es giratoria de 0 a 5 rpm
  • un obturador operado manualmente para la protección del objetivo. (Figura 2)
  • El soporte del cabezal de pulverización catódica está disponible para sostener el cabezal de pulverización catódica mientras no funciona.
  • La distancia entre el cabezal de pulverización catódica y la etapa de muestreo es ajustable de 60 a 100 mm.
  • área de recubrimiento máxima: 4 "de diámetro máx.
  • uno enfriador de agua recirculante aire frío flujo 10 l / min se incluye para enfriar el cabezal de pulverización catódica. (fig.6)

panel de control

  • Panel de control con pantalla táctil a color de 6 "con integración plc para una fácil operación
  • Un panel para todos los parámetros monitor y control: vacío, corriente.

máxima presión de vacío

  • puerto de vacío kf25 incorporado
  • El sistema requiere un tanque de gas ar con regulador de presión. (no incluido)
  • & lt; 1.0e-2 torr por bomba de vacío de paletas (no incluida) para objetivos au, ag, pt, cu, mo (no sensibles al aire)
  • & lt; 1.0e-5 torr por bomba turbomolecular (no incluida) para objetivos al, mg, li, lr, ti, zn (sensibles al aire)
  • el vacío más bajo puede alcanzar & lt; 4.0e-6 torr bombeando durante la noche y horneando

atmósfera de gas

  • Una válvula de aguja instalada para permitir la entrada de gas ar para lograr un mejor recubrimiento de plasma
  • el sistema requiere un tanque de gas ar con el regulador de presión (no incluido)


objetivo

· se incluye un objetivo de cobre de 2 "para las pruebas, tamaño del objetivo: 2" de diámetro x 2.5 mm.

  • también puede cubrir ag, al, cr, ni, pt, ti, sn, li, mg , etc. casi todo tipo de material metálico.
  • advertencia : blanco de aluminio, cromo o níquel puede ser recubierto por esta máquina, pero consulte el método de recubrimiento recomendado antes de usar.
  • por favor, use plasma spftering magnetrón rf para recubrir alúmina

monitor de espesor de película opcional

  • El monitor de espesor de película es opcional a un costo adicional
  • La etapa de muestra calentable de hasta 500 ° C está disponible a pedido a un costo adicional
  • El medidor de flujo para la entrada precisa de gas de control está disponible a pedido a un costo adicional.

dimensión global

  • l 440 mm × W 330 mm × h 290 mm

Peso neto

  • 20 kg

peso de envío & amp; dimensión

  • 160 libras
  • 45 "x 45" x 40 "

conformidad

  • aprobación del ce
  • La certificación nrtl está disponible a pedido a un costo adicional, comuníquese con nuestro representante de ventas para solicitar un presupuesto.

garantía

  • un año limitado con soporte de por vida

notas de aplicación

  • advertencia: la cabeza de pulverización se conecta a alta tensión. el operador debe usar guantes durante la operación
  • asegúrese de que el objetivo, el cabezal de pulverización catódica, el sustrato y la etapa de calentamiento estén limpios antes de recubrirlos, debe usar papel de lija y alcohol para limpiar y refrescar el objetivo de al o níquel cada vez que lo use.




Magnetron Sputtering Coater









paquete:

1 paquete estándar exportado: protección anticolisión interna, embalaje de caja de madera de exportación externa.

2 envío por expreso, por aire, por mar de acuerdo con los requisitos de los clientes para encontrar la forma más adecuada.

3 responsable del daño durante el proceso de envío, cambiará la parte dañada por usted de forma gratuita.

el tiempo de entrega : 15-20 días después de confirmar el pedido, la fecha de entrega detallada debe decidirse de acuerdo con

Temporada de producción y cantidad de pedido.