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Compacto máx.800 ° C 5 "dia wafer dos zonas horno css para térmica rápida

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Compacto máx.800 ° C 5 "dia wafer dos zonas horno css para térmica rápida

Compacto máx.800 ° C 5 "dia wafer dos zonas horno css para térmica rápida

  • :

    OTF-1200X-RTP-II-5
  • MOQ :

    1
  • :

    20 days
  • Compliance:

    CE Certified
  • Warranty:

    1 year
  • Delivery Time:

  • Correo electrónico :

    [email protected]

Compacto máx.800 ° C 5 "dia wafer dos zonas horno css para térmica rápida


otf-1200x-rtp-ii-5 es un horno de procesamiento térmico rápido con cámara de cuarzo de 11 "de diámetro interno. Está diseñado para evaporación térmica o css ( sublimación en espacios reducidos ) recubrimiento de película de muestras circulares de hasta 5 "de diámetro y 800 ° C máx. el horno se calienta con dos grupos de calentadores halógenos (superior e inferior) por separado con máx. 10ºc / s velocidad de calentamiento. Dos controladores de temperatura de precisión de 30 segmentos están integrados con una precisión de +/- 1ºc. El puerto rs485 y el software de control están incluidos para permitir la operación de registro de perfil de horno y temperatura a través de PC. Es una herramienta excelente para investigar la película delgada de nueva generación para células solares, como cdte, sulfuro y célula solar de perovskita.


presupuesto:

estructura del horno & amp; cámara de vacío

· Dos controladores de temperatura.

· La cámara está hecha de tubo de cuarzo fundido de alta pureza.

· tamaño del tubo de cuarzo: 11 "od / 10.8" id x 9 "h

· Las bridas de vacío están hechas de acero inoxidable 316.

bridas de vacío

Two Zones CSS Furnace

Two Zones CSS Furnace

· La brida superior con un puerto de vacío kfd-25 y una salida de gas (se requiere una tubería de 1/4 ") puede deslizarse hacia arriba o hacia abajo manualmente para cargar y descargar el sustrato y el material evaporado fácilmente.

· la brida inferior tiene un puerto de vacío kfd-25 con una entrada de gas (se requiere una tubería de 1/4 ") con válvulas de aguja.

· la brida está sellada por juntas tóricas de silicona doble y puede alcanzar un máx. La presión de vacío de 10e-2 torr por una bomba mecánica de calidad y 10e-5 torr por una bomba molecular (la bomba de vacío no está incluida, pida por separado).

· Se instala un medidor de vacío digital en la brida superior.

· El medidor digital de vacío anticorrosión de precisión está en el paquete estándar (desde 2016.03.24) .

control de flujo de gas

Two Zones CSS Furnace



mezclador de gas integrado con dos medidores de flotador con rangos de medición ajustables de 16-160 ml / m

calentador y portamuestras
Two Zones CSS Furnace

· Dos calentadores controlados independientemente con un espacio ajustable manualmente de 2 a 30 mm.

· Se utilizan lámparas halógenas de 20 piezas como elemento de calentamiento para el procesamiento térmico rápido.

· Los calentadores están hechos de acero inoxidable con camisa de agua fría para reducir la radiación de calor y permitir un enfriamiento rápido.

· 5 "de diámetro. El soporte circular para obleas está integrado en el calentador superior para sostener el sustrato.

· Se incluye un juego de placas de aluminio o placa de grafito de alta conductividad térmica (5 "de diámetro x 0,5 mm de espesor) (colocar en la parte inferior para evaporar el material)

· se incluye un enfriador de agua circulante de 58 l / min para ahorrar fuente de agua (haga clic en la imagen a continuación para ver las especificaciones detalladas).

Two Zones CSS Furnace Two Zones CSS Furnace Two Zones CSS Furnace Two Zones CSS Furnace


controlador de temperatura

· Dos controladores de temperatura digitales de precisión con 30 segmentos programables ofrecen control independiente de los calentadores superior e inferior.

· cada controlador tiene la función de autoajuste pid para proteger a los calentadores del exceso y una función de alarma para evitar el sobrecalentamiento y se rompe un par térmico.

· interfaz de comunicación de pc & amp; El software está instalado para registrar el perfil de temperatura que se muestra a continuación.

·Two Zones CSS Furnace Two Zones CSS Furnace Two Zones CSS Furnace



temperatura de trabajo

· temperatura máxima para cada calentador: & lt; = 800ºc.

· La diferencia máxima de temperatura entre dos calentadores: & lt; = 300ºc depende del espacio entre dos calentadores:

o espaciamiento 30 mm máx. diferencia de temperatura: 315ºc @ solo calefacción inferior

calefacción y amperios; velocidad de enfriamiento

· calentamiento: & lt; 8ºc / s (solo calefacción individual)

· enfriamiento: & lt; 10ºc / s (600 - 100ºc) máx.

pareja térmica

Se instalan dos pares térmicos de tipo k en los calentadores superior e inferior por separado.

tensión de trabajo

Se requiere un disyuntor de aire de 220vac, monofásico, 60a

Requisitos de energía

9.5kw total

dimensiones

Two Zones CSS Furnace 1085 mm de largo x 680 mm de ancho x 1710 mm de alto

peso de envío & amp; dimensión

· dos paletas: 525 lbs y 48 "x 40" x 87 "y 165 lbs con una dimensión de 39x31x29"





Opcional

· Se requiere una bomba de vacío. ordene por separado haciendo clic en la primera imagen de la izquierda a continuación. el nivel de vacío puede alcanzar & lt; = 10e-2 torr por bomba mecánica.

· Si utiliza gas corrosivo, considere utilizar la bomba seca anticorrosiva que se muestra en la segunda imagen de la izquierda a continuación (bomba de aluminio de Alemania) a un costo adicional.

· puede elegir el sistema digital de suministro de gas mfc haciendo clic en la primera imagen de la derecha a continuación.

Two Zones CSS Furnace Two Zones CSS Furnacec Two Zones CSS Furnace

garantía

Un año limitado con soporte de por vida (las piezas consumibles como el tubo de cuarzo y las lámparas de calefacción no están cubiertas por la garantía).

computadora portátil, software y amplificador; control wifi (opcional)
Two Zones CSS FurnaceTwo Zones CSS Furnace

· nueva computadora portátil con microsoft window 10 y microsoft office 2013 (prueba gratuita de 30 días) para uso inmediato.

· sistema de control de temperatura basado en labview ( eq-mts01 ) permite al usuario editar el perfil de temperatura, administrar la receta de tratamiento térmico, registrar y trazar datos para hornos mti.

· Un control remoto inalámbrico proporciona un rango operativo de hasta 300 metros.

· las características anteriores están disponibles a pedido a un costo adicional (hasta $ 1,000). Por favor contáctenos para más información.

· Nota: el software solo es compatible con tmax Controlador de temperatura de yudian


notas de aplicación & amp; advertencias
Two Zones CSS Furnace

· los hornos tubulares con tubo de cuarzo están diseñados para su uso bajo vacío y baja presión & lt; 0.2 bares / 3 psi / 0.02 mpa. las presiones de vacío solo se pueden usar de manera segura hasta 1000 ° c. El caudal de los gases debe limitarse a & lt; 200 sccm (o 200 ml / min) para reducir los choques térmicos al tubo.

· atención : se debe instalar un regulador de presión de dos etapas en el cilindro de gas para limitar la presión a menos de 3 psi para una operación segura.

· El soporte de pie de este horno está diseñado para transportar distancias cortas en la superficie plana




CSS Furnace









paquete:

1 paquete estándar exportado: protección anticolisión interna, embalaje de caja de madera de exportación externa.

2 envío por expreso, por aire, por mar de acuerdo con los requisitos de los clientes para encontrar la forma más adecuada.

3 responsable del daño durante el proceso de envío, cambiará la parte dañada por usted de forma gratuita.

el tiempo de entrega : 15-20 días después de confirmar el pedido, la fecha de entrega detallada debe decidirse de acuerdo con

Temporada de producción y cantidad de pedido.