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OTF-1200X-RTP-IIMOQ :
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otf-1200x-rtp-ii es un horno de procesamiento térmico rápido de dos zonas de calentamiento con tubo de cuarzo de 11 "de diámetro externo. Está diseñado para pvd o css ( sublimación en espacios reducidos ) revestimiento de película de hasta 3 "de diámetro o 2" x2 "cuadrado. El horno se calienta con dos grupos de calentadores halógenos (superior e inferior) por separado con una velocidad máxima de calentamiento de 20ºc / s. Dos controladores de temperatura de precisión de 30 segmentos están integrados con Precisión de +/- 1º C. El puerto rs485 y el software de control están incluidos para permitir la operación de registro de perfiles de horno y temperatura a través de PC. Es una herramienta excelente para investigar la película delgada de nueva generación para células solares, como cdte, sulfuro y p célula solar de erovskita.
presupuesto:
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estructura del horno & amp; cámara de vacío |
· Calentador doble, dos controladores de temperatura, medidores de flujo de gas de dos canales integrados en un marco móvil de aleación de aluminio · la cámara está hecha de tubo de cuarzo fundido de alta pureza · tamaño del tubo de cuarzo: 11 "od / 10.8" id x 9 "h · las bridas de vacío están hechas de acero inoxidable 316 · dimensión total: 850 (l) × 745 (w) × 1615 (h) mm
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bridas de vacío |
· La brida superior con un puerto de vacío kfd-25 y dos salidas de gas (se requiere tubería de 1/4 ") puede deslizarse hacia arriba o hacia abajo manualmente para cargar y descargar el sustrato y el material evaporado fácilmente · la brida inferior tiene un puerto de vacío kfd-25 con dos entradas de gas (se requiere tubería de 1/4 ") y válvulas de aguja · la brida está sellada con juntas tóricas de silicona dobles y puede alcanzar una presión de vacío máxima de 10e-2 torr con una bomba mecánica de calidad y 10e-5 torr con una bomba molecular (la bomba de vacío no está incluida, pídala por separado) · El medidor digital de vacío anticorrosión de precisión está en el paquete estándar (desde 2016.03.24) . |
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medidores de flujo de gas
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Se instalan dos flotímetros en el panel de control con un rango de medición de: · 16-160 ml / m · 400 - 4000 ml / m (para purgar) |
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calentador y portamuestras
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· Dos lámparas IR de onda corta como elementos de calentamiento para un calentamiento rápido. · la distancia entre dos calentadores es ajustable de 10 a 50 mm · Los calentadores están hechos de acero inoxidable con camisa de agua fría para reducir la radiación de calor y permitir un enfriamiento rápido · Soporte redondo de 3 "para obleas está integrado con el calentador superior para cargar el sustrato · Se incluye una placa de aluminio con alta conductividad térmica (3 "de diámetro x 0,5 mm de espesor), que se colocará en la parte posterior del sustrato para que se caliente de manera uniforme · una placa de grafito de 3 "se puede usar alternativamente para una placa en, haga clic en la imagen a continuación para ordenar. · el reemplazo del calentador de luz halógena está disponible a un costo adicional
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· Dos controladores de temperatura digitales de precisión con 30 segmentos programables ofrecen control independiente de los calentadores superior e inferior · cada controlador tiene la función de autoajuste pid para proteger a los calentadores del exceso y la función de alarma para evitar el sobrecalentamiento y la ruptura térmica · interfaz de comunicación de pc & amp; el software está instalado para (haga clic en la imagen a continuación para obtener detalles) el perfil de temperatura de grabación que se muestra a continuación
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· temperatura máxima para cada calentador: & lt; = 650ºc · La diferencia máxima de temperatura entre dos calentadores: & lt; = 300ºc depende del espacio entre dos calentadores: o espaciamiento 30 mm máx. diferencia de temperatura: 315ºc @ solo calefacción inferior o espaciamiento 40 mm máx. diferencia de temperatura: 350ºc @ solo calefacción inferior o espaciamiento 50 mm máx. diferencia de temperatura: 395ºc @ solo calefacción inferior |
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calefacción y amperios; velocidad de enfriamiento |
· calentamiento: & lt; 8ºc / s (solo calefacción individual) · enfriamiento: & lt; 10ºc / s (600 - 100ºc) máx. |
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Se instalan dos pares térmicos de tipo k (expuestos) en los calentadores superior e inferior por separado |
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tensión de trabajo |
208 - 240vac, monofásico, disyuntor de aire 20a |
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Requisitos de energía |
2200w en total (1100w por cada calentador) |
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· Se requiere una bomba de vacío. ordene por separado haciendo clic en la primera imagen de la izquierda a continuación. el nivel de vacío puede alcanzar & lt; = 10e-2 torr por bomba mecánica · si utiliza gas corrosivo, considere usar una bomba seca anticorrosiva que se muestra en la segunda imagen de la izquierda a continuación (bomba pfeiffer de alemania) a un costo adicional · Puede pedir un enfriador de agua recirculante para ahorrar la fuente de agua por separado. · puede elegir el sistema digital de suministro de gas mfc haciendo clic en la primera imagen de la derecha a continuación
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garantía |
Un año limitado con soporte de por vida (las partes consumibles como el tubo de cuarzo y las lámparas de calefacción no están cubiertas por la garantía) |
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computadora portátil, software y amplificador; control wifi (opcional) |
· nueva computadora portátil con microsoft window 10 y microsoft office 2013 (prueba gratuita de 30 días) para uso inmediato. · sistema de control de temperatura basado en labview ( eq-mts01 ) permite al usuario editar el perfil de temperatura, administrar la receta de tratamiento térmico, registrar y trazar datos para hornos mti. · Un control remoto inalámbrico proporciona un rango operativo de hasta 300 metros. · las características anteriores están disponibles a pedido a un costo adicional (hasta $ 1,000). Por favor contáctenos para más información. ·
Nota: |
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notas de aplicación |
por favor lea el artículo: Celda solar css cdte de alta eficiencia |
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· Los hornos tubulares con tubo de cuarzo están diseñados para su uso bajo vacío y baja presión & lt; 0.2 bares / 3 psi / 0.02 mpa. las presiones de vacío solo se pueden usar de manera segura hasta 1000 ° c. El caudal de los gases debe limitarse a & lt; 200 sccm (o 200 ml / min) para reducir los choques térmicos al tubo. · atención : se debe instalar un regulador de presión de dos etapas en el cilindro de gas para limitar la presión a menos de 3 psi para una operación segura. |
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