Correo electrónico : [email protected]
Productos
Página de inicio Productos Lab Coater Sputtering Coater

Horno css compacto de dos zonas para un procesamiento térmico rápido con tubo de cuarzo de 11 "de diámetro externo

Contacte con nosotros

  • Contact Person : Louis Yang
  • Correo electrónico : [email protected]
  • Dirección : No. 5 Nanshan Road, Huli District, Xiamen City, Fujian Province, China
Horno css compacto de dos zonas para un procesamiento térmico rápido con tubo de cuarzo de 11 "de diámetro externo

Horno css compacto de dos zonas para un procesamiento térmico rápido con tubo de cuarzo de 11 "de diámetro externo

  • :

    OTF-1200X-RTP-II
  • MOQ :

    1
  • :

    20 days
  • Compliance:

    CE Certified
  • Warranty:

    1 year
  • Correo electrónico :

    [email protected]

Horno css compacto de dos zonas para un procesamiento térmico rápido con tubo de cuarzo de 11 "de diámetro externo



otf-1200x-rtp-ii es un horno de procesamiento térmico rápido de dos zonas de calentamiento con tubo de cuarzo de 11 "de diámetro externo. Está diseñado para pvd o css ( sublimación en espacios reducidos ) revestimiento de película de hasta 3 "de diámetro o 2" x2 "cuadrado. El horno se calienta con dos grupos de calentadores halógenos (superior e inferior) por separado con una velocidad máxima de calentamiento de 20ºc / s. Dos controladores de temperatura de precisión de 30 segmentos están integrados con Precisión de +/- 1º C. El puerto rs485 y el software de control están incluidos para permitir la operación de registro de perfiles de horno y temperatura a través de PC. Es una herramienta excelente para investigar la película delgada de nueva generación para células solares, como cdte, sulfuro y p célula solar de erovskita.


presupuesto:

estructura del horno & amp; cámara de vacío
Two Zones CSS Furnace

· Calentador doble, dos controladores de temperatura, medidores de flujo de gas de dos canales integrados en un marco móvil de aleación de aluminio

· la cámara está hecha de tubo de cuarzo fundido de alta pureza

· tamaño del tubo de cuarzo: 11 "od / 10.8" id x 9 "h

· las bridas de vacío están hechas de acero inoxidable 316

· dimensión total: 850 (l) × 745 (w) × 1615 (h) mm

bridas de vacío

Two Zones CSS Furnace Two Zones CSS Furnace

· La brida superior con un puerto de vacío kfd-25 y dos salidas de gas (se requiere tubería de 1/4 ") puede deslizarse hacia arriba o hacia abajo manualmente para cargar y descargar el sustrato y el material evaporado fácilmente

· la brida inferior tiene un puerto de vacío kfd-25 con dos entradas de gas (se requiere tubería de 1/4 ") y válvulas de aguja

· la brida está sellada con juntas tóricas de silicona dobles y puede alcanzar una presión de vacío máxima de 10e-2 torr con una bomba mecánica de calidad y 10e-5 torr con una bomba molecular (la bomba de vacío no está incluida, pídala por separado)

· El medidor digital de vacío anticorrosión de precisión está en el paquete estándar (desde 2016.03.24) .

medidores de flujo de gas

Two Zones CSS Furnace

Se instalan dos flotímetros en el panel de control con un rango de medición de:

· 16-160 ml / m

· 400 - 4000 ml / m (para purgar)

calentador y portamuestras
Two Zones CSS Furnace

Two Zones CSS FurnaceTwo Zones CSS Furnace

· Dos lámparas IR de onda corta como elementos de calentamiento para un calentamiento rápido.

· la distancia entre dos calentadores es ajustable de 10 a 50 mm

· Los calentadores están hechos de acero inoxidable con camisa de agua fría para reducir la radiación de calor y permitir un enfriamiento rápido

· Soporte redondo de 3 "para obleas está integrado con el calentador superior para cargar el sustrato

· Se incluye una placa de aluminio con alta conductividad térmica (3 "de diámetro x 0,5 mm de espesor), que se colocará en la parte posterior del sustrato para que se caliente de manera uniforme

· una placa de grafito de 3 "se puede usar alternativamente para una placa en, haga clic en la imagen a continuación para ordenar.

· el reemplazo del calentador de luz halógena está disponible a un costo adicional

Two Zones CSS Furnace Two Zones CSS Furnace Two Zones CSS Furnace



controlador de temperatura

· Dos controladores de temperatura digitales de precisión con 30 segmentos programables ofrecen control independiente de los calentadores superior e inferior

· cada controlador tiene la función de autoajuste pid para proteger a los calentadores del exceso y la función de alarma para evitar el sobrecalentamiento y la ruptura térmica

· interfaz de comunicación de pc & amp; el software está instalado para (haga clic en la imagen a continuación para obtener detalles) el perfil de temperatura de grabación que se muestra a continuación



temperatura de trabajo

· temperatura máxima para cada calentador: & lt; = 650ºc

· La diferencia máxima de temperatura entre dos calentadores: & lt; = 300ºc depende del espacio entre dos calentadores:

o espaciamiento 30 mm máx. diferencia de temperatura: 315ºc @ solo calefacción inferior

o espaciamiento 40 mm máx. diferencia de temperatura: 350ºc @ solo calefacción inferior

o espaciamiento 50 mm máx. diferencia de temperatura: 395ºc @ solo calefacción inferior

calefacción y amperios; velocidad de enfriamiento

· calentamiento: & lt; 8ºc / s (solo calefacción individual)

· enfriamiento: & lt; 10ºc / s (600 - 100ºc) máx.

pareja térmica

Se instalan dos pares térmicos de tipo k (expuestos) en los calentadores superior e inferior por separado

tensión de trabajo

208 - 240vac, monofásico, disyuntor de aire 20a

Requisitos de energía

2200w en total (1100w por cada calentador)





Opcional

· Se requiere una bomba de vacío. ordene por separado haciendo clic en la primera imagen de la izquierda a continuación. el nivel de vacío puede alcanzar & lt; = 10e-2 torr por bomba mecánica

· si utiliza gas corrosivo, considere usar una bomba seca anticorrosiva que se muestra en la segunda imagen de la izquierda a continuación (bomba pfeiffer de alemania) a un costo adicional

· Puede pedir un enfriador de agua recirculante para ahorrar la fuente de agua por separado.

· puede elegir el sistema digital de suministro de gas mfc haciendo clic en la primera imagen de la derecha a continuación

Two Zones CSS Furnace Two Zones CSS Furnace Two Zones CSS Furnace

garantía

Un año limitado con soporte de por vida (las partes consumibles como el tubo de cuarzo y las lámparas de calefacción no están cubiertas por la garantía)

computadora portátil, software y amplificador; control wifi (opcional)

· nueva computadora portátil con microsoft window 10 y microsoft office 2013 (prueba gratuita de 30 días) para uso inmediato.

· sistema de control de temperatura basado en labview ( eq-mts01 ) permite al usuario editar el perfil de temperatura, administrar la receta de tratamiento térmico, registrar y trazar datos para hornos mti.

· Un control remoto inalámbrico proporciona un rango operativo de hasta 300 metros.

· las características anteriores están disponibles a pedido a un costo adicional (hasta $ 1,000). Por favor contáctenos para más información.

·

Nota:
el software solo es compatible con el controlador de temperatura yudian de mti
Two Zones CSS FurnaceTwo Zones CSS Furnace ·

notas de aplicación

por favor lea el artículo: Celda solar css cdte de alta eficiencia


advertencia
Two Zones CSS Furnace

· Los hornos tubulares con tubo de cuarzo están diseñados para su uso bajo vacío y baja presión & lt; 0.2 bares / 3 psi / 0.02 mpa. las presiones de vacío solo se pueden usar de manera segura hasta 1000 ° c. El caudal de los gases debe limitarse a & lt; 200 sccm (o 200 ml / min) para reducir los choques térmicos al tubo.

· atención : se debe instalar un regulador de presión de dos etapas en el cilindro de gas para limitar la presión a menos de 3 psi para una operación segura.





CSS Furnace









paquete:

1 paquete estándar exportado: protección anticolisión interna, embalaje de caja de madera de exportación externa.

2 envío por expreso, por aire, por mar de acuerdo con los requisitos de los clientes para encontrar la forma más adecuada.

3 responsable del daño durante el proceso de envío, cambiará la parte dañada por usted de forma gratuita.

el tiempo de entrega : 15-20 días después de confirmar el pedido, la fecha de entrega detallada debe decidirse de acuerdo con

Temporada de producción y cantidad de pedido.