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Mini zona de temperatura única deslizante horno de tubo pecvd

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Mini zona de temperatura única deslizante horno de tubo pecvd

Mini zona de temperatura única deslizante horno de tubo pecvd

  • :

    LITH-1200-SlidingPEC
  • MOQ :

    1
  • :

    40 days
  • Compliance:

    CE
  • Warranty:

    2 years
  • Delivery Time:

    40 days
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Mini zona de temperatura única deslizante horno de tubo pecvd


lith-1200-slidingpec El sistema está compuesto por horno de tubo de vacío tl1200, cámara de vacío de cuarzo, fuente de alimentación de rf, sistema de suministro de gas gx, sistema de bombeo y sistema de medición de vacío.

principales características:

1. el gas en la cámara de vacío de cuarzo se cambia a estado iónico por la fuente de alimentación de RF.

2. pecvd es más bajo que el cvd normal para la deposición química de vapor.

3. La tensión de las películas depositadas se puede controlar por la frecuencia de la fuente de alimentación de RF.

4. pecvd tiene una alta tasa de deposición, buena uniformidad, consistencia y estabilidad que el cvd normal.

5. ampliamente utilizado en el crecimiento de varias películas, como siox, sinx, sioxny y silicio amorfo (a-si: h), etc.

la lith-1200-slidingpec técnica del sistema para el elemento de calentamiento de alambre de resistencia kanthal sueco, con estructura de doble envoltura y mesa de control de temperatura de 30 programas, disparador de cambio de fase, control de tiristores, horno con material de fibra de alúmina policristalina, sello de brida de acero inoxidable en ambos extremos del tubo del horno, la instalación de la brida de acero inoxidable tiene una boca, válvula y manómetro, vacío, grado de vacío puede alcanzar 10-3 pa, balanceo de campo a baja temperatura, temperatura de la superficie, tasa de temperatura de elevación, ahorro de energía, concesiones de precios, etc.

1. kanthal a1 alambre de resistencia de suecia

kanthal a1 alambre original horno de alambre de resistencia chino vs horno de alambre de resistencia importado

(1), la temperatura de la superficie alta puede alcanzar 1420

(2) la superficie es de acero inoxidable (muy brillante, el cliente debe prestarle atención), no se oxidará y el tiempo de uso no se caerá de la escoria.

(3) se descargan los datos del cable de resistencia kanthal

(4) sitio web del cable de resistencia kanthal: www.kanthal.com

(5) la resistencia es equilibrada y el campo de temperatura es igualmente bueno

la mayoría de los fabricantes utilizan aleaciones de fe-cr-al dopadas con alambre de resistencia mo, que

a veces la resistencia es desigual y parte del calor es pequeño. kanthal a1 la resistencia es uniforme y con el calor equilibrado, buen efecto de campo de temperatura

2. Instalación de interruptor de aire y protector de fugas:

cuando hay una corriente eléctrica o una fuga, una reunión vacía se desconecta automáticamente.

3. puede conectarse con la computadora

este horno está equipado con una interfaz de comunicación y software, puede ser directamente a través del control del ordenador del horno de cada parámetro, y puede observarse desde la computadora pv en la estufa y el valor de la temperatura sv y el funcionamiento del instrumento, la temperatura real de la computadora de dibujo de la curva del horno en tiempo real, y puede mantener los datos de temperatura de cada momento, puede llamar en cualquier momento


4. cámara

(1 ) horno de curado de fibra policristalina de alta calidad de alúmina pura de alta calidad con succión al vacío y moldeo por filtro.

(2). Adoptar la tecnología japonesa para formar.

(3). la separación y el paso del cable de resistencia en el horno se organizan de acuerdo con la mejor tecnología térmica de Japón, y el campo de la temperatura se simula mediante un software térmico

(4). Utilizando 4 semanas de calentamiento, la temperatura es más equilibrada.

5. tablero eléctrico certificado ul ulterior (todo a través de la certificación UL de electrodomésticos importados)

6. disparador

desencadenante limitador de corriente de arranque suave la mayoría de los fabricantes utilizan desencadenantes no limitativos de Xiamen Bode

1 gatillo de cambio de fase (con arranque suave y función de limitación de corriente)

2. función de limitación de corriente, sin importar cómo se ajuste el tiempo de calentamiento del horno eléctrico después de que la corriente secundaria del transformador esté limitada a 170a o menos a la protección limitada del equipo. disparador no limitante si la velocidad de calentamiento se configura de forma incorrecta o demasiado rápida. la corriente baja es muy grande, el dispositivo se desconectará o se quemará.

3 función de arranque suave la corriente aumentará lentamente la corriente, el impacto del elemento calefactor es pequeño y favorece la extensión de la vida útil del elemento calefactor

4 la función de protección si la corriente excede el límite de corriente, el gatillo cortará automáticamente la función de gatillo para cortar el horno de protección actual.

7. ul transformador certificado

1 el cable del transformador es cobre puro

2 el sonido del transformador pequeño

3 la temperatura del transformador es baja

8. una variedad de opciones para elegir una variedad de bridas (diámetro de 25 a 250 mm)

modelo

litio -1200-slidingpecvd1

litio -1200-slidingpecvd2

poder

1.5kw

tamaño del tubo

dia25 (od) x1250mm

dia50 (od) x1250mm

dimensiones totales (lxdxh)

1800x410x610

1800x460x660

la tensión de alimentación

220 v

material de riel deslizante

Acero inoxidable 304

modo deslizante

rodamiento de acero inoxidable

número de fase

fase única

elemento de calefacción

Importar el cable de resistencia canthal a1 sueco, hacer clic en descargar datos.

el modo de control

usando el termómetro de control del programa eléctrico yu (estándar)
1. 30 programa de control de temperatura inteligente pid ajuste.
2. El circuito de calefacción del horno eléctrico se puede cortar automáticamente cuando se ha protegido por calor o se ha roto accidentalmente. (cuando la temperatura del horno supera los 1200 grados o el termopar se rompe, el relé de CA en el circuito principal se desconectará automáticamente, el circuito principal se rompe, la luz en el panel está apagada, apagada la luz, el horno eléctrico de protección limitada.
3. Con interfaz de comunicación 485 (estándar y estándar para elegir software)
4. tiene la función de protección de fallo de alimentación, es decir, cuando la alimentación está apagada, el programa no se iniciará desde la temperatura inicial, pero el horno comenzará a elevarse cuando la alimentación esté apagada.
El instrumento tiene la función de temperatura autoajustable.


(Para reemplazar el instrumento importado, tenemos que pagar otra tarifa).

Fp93 tabla de control de temperatura instrumentos europeos instrumento de pantalla táctil

(Shimaden)

el modo de control de temperatura

pid

Protección y pantalla incluso rotas

protección contra sobrecalentamiento

protección contra la sobretensión

precisión de control

+ / - 1

el gatillo

disparador de cambio de fase

electrodomésticos

zhejiang chint

rectificador controlado de silicona

106 / 16e puerta oeste, Alemania

la temperatura mas alta

zona de temperatura 1: 1200 zona de temperatura 2: 1200

la temperatura nominal

zona de temperatura 1: 1100 zona de temperatura 2: 1100

velocidad de calentamiento

el 20 / min o menos (puede modificarse de acuerdo con el requisito )

velocidad de calentamiento recomendada

10 / min o les s

modelo de termopar

zonas 1: rango de temperatura de k tipo 2: tipo k

longitud de calentamiento

Zonas 1: rango de temperatura de 200 mm. 2: 200 mm

certificación eléctrica

ce

temperatura de la superficie circundante

45 o les s

fuente de alimentación de rf

(generador de plasma)

rango de salida de potencia

0-500 w

potencia máxima reflejada

200 w.

frecuencia de trabajo

rf: 13.56 mhz más o menos 0.005%

estabilidad de poder

+ / - 0.1%

componente armónico

- 50 o menos dbc

ancho rf

0-600 - mm es ajustable

modo de emparejamiento

automático

modo de enfriamiento

aire frio

ruido

el & lt; 50 db

la interfaz de radio frecuencia

50 Ω n - tipo

potencia de entrada

208-240 - v 50/60 hz

Parámetros principales del sistema de suministro de gas gx.

medidor de flujo de masa
el rango estándar
utilizando el controlador de flujo de protones 5, 10, 20, 30, 50, 100, 200, 300, 500 sccm, 1, 2, 3, 5, 10 slm
(Puede elegir el rango del rango y el tipo de gas)
Presión máxima de trabajo 3 mp
la precisión de más o menos 1.5%
la caída de presión & lt; 0,01 mpa & lt; p = "" & gt;
precisión de repetición más o menos 0.2% f.s

canales:

1, 2, 3, 4, 5, 6, 7, 8 (opcional)

tipo de articulación

Conector de acero inoxidable de doble cassette.

rango de presión de trabajo del sistema

0.1 ~ 0.5 mpa

temperatura de trabajo

5-45

reloj de vacío de presión

0.1 ~ 0.15 mpa a 0.01 mpa / caja

cámara de mezcla estática

dia50 x 400 mm

interfaz

dia6 1/4 "

la fuente de poder

220 v

tamaño

600 x600x600

tubo corrugado

kf25x1000mm

El grado de vacío se puede alcanzar con este sistema.

10-1 el pa

válvula de deflector de vacío

kf25

bomba de vacío de vrd a 8

modelo

vrd a 8

limitando la presión parcial

5 x10-2 pa

interfaz de escape de entrada

kf25

velocidad del motor

1440 rpm

tasa de extracción

2.2 l / s

fuerza de motor

0.4 kw

Bomba de raíces de múltiples etapas sin aceite perfeer acp1 (plan 2)

modelo

acp15

fuente de alimentación

ac100 ~ 240v 50 / 60hz

poder

450 w

interfaz de escape

kf25

peso

25 kg

La tasa máxima de fuga de helio es

5 · 10-8 pa m3 / s

grado de vacío extremo

0.02 torr

la tasa de extracción es

14 m3 / h

modelo

zdr - 1

poder

25 w.

rango de medida del grado de vacío

0.1-10 5 pa

resistencia de silicio

lo que zj tenía que 52 t

Medidor de vacío de capacitancia pirani de Suecia (inficon) (opcional)

modelo

pcg554

voltaje de entrada

24v 1a dc (equipado con transformador 220v)

interfaz de indicador de vacío

kf16

Pantalla digital

pantalla digital (tamaño de pantalla 20x14mm), cuya unidad de visualización de datos es torr

tamaño del producto

46 mm x 28 mm x 126 mm (l x w x h)

el peso de la

5 libras

detección de gas

Se pueden detectar varios gases incluyendo gases mixtos, precisos y repetibles.

si la anticorrosión

protección contra la corrosión

el tiempo de respuesta

30 ms o menos

rango de medición

3.8 x10-5-1125 torr.

unidad de bombeo molecular (opcional)

voltaje de entrada de la unidad

380 v / 220 v

tubo corrugado

kf40x1000

válvula de deflector de vacío

kf40

tamaño de la caja

600 x600x600

bomba molecular

modelo de bomba molecular

fj620

voltaje de entrada

380 v

brida de entrada de la bomba molecular

dn160

Bomba molecular de velocidad de bombeo l / s (para aire)

600

presión límite de la bomba molecular (pa)

6 x 10-7

sistema de refrigeración

Enfriado hidráulicamente

Presión de agua de refrigeración (mpa)

0.1 a 0.2

temperatura del agua de enfriamiento

& lt; 25 & lt; p = "" & gt;

la temperatura ambiente

0 ~ 40

presión inicial sugerida

& lt; 100 pa & lt; p = "" & gt;

bomba de vacío motor rvp - 6

poder

0.75 kw

voltaje

380 v

velocidad

1450 rpm

diámetro de entrada

kf25 / kf40

tasa de bombeo de la bomba (l / s)

6

presión máxima

4 x10-2 pa

bomba de vacío pfeiffer alemán

voltaje

220 v

poder

110 w.

interfaz de extracción

kf40

el peso de la

150 kg

Velocidad de la bomba de la bomba frontal.

0.9 m 3 / h

tasa de extracción (n2)

33 m / s

medidor de vacío compuesto

medidor de vacío compuesto modelo

zdf

la fuente de poder

220 v 55 w

precisión de control

más o menos 1%

rango de medición del medidor de vacío

10-5-10 5 pa



PE/CVD Furnace










paquete:

1 paquete estándar exportado: protección anticolisión interna, embalaje de caja de madera de exportación externa.

2 envío por expreso, por aire, por mar según los requisitos de clientes para encontrar la manera más conveniente.

3 responsables del daño durante el proceso de envío, cambiará la parte dañada por usted de forma gratuita.

el tiempo de entrega : 15-20 días después de confirmar el pedido, la fecha de entrega detallada debe decidirse de acuerdo con

Temporada de producción y cantidad de pedido.