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Sistema pequeño de horno de tubo rtp de 4 "con estación de vacío turbomolecular y accesorios completos

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Sistema pequeño de horno de tubo rtp de 4 "con estación de vacío turbomolecular y accesorios completos

Sistema pequeño de horno de tubo rtp de 4 "con estación de vacío turbomolecular y accesorios completos

  • :

    LITH-1200X-RTP-HV-LD
  • MOQ :

    1
  • :

    30 days
  • Compliance:

    CE
  • Warranty:

    2 years
  • Delivery Time:

    30 days
  • Correo electrónico :

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Sistema pequeño de horno de tubo rtp de 4 "con estación de vacío turbomolecular y accesorios completos


lith-1200x-rtp-hv-ld es un Tubo de procesamiento térmico rápido compacta y certificable (4 "i.d.) con unidad de alto vacío (bomba de diafragma + bomba turbo molecular) y conjunto de brida de vacío kf-d25. Está diseñado para el recocido de obleas semiconductoras o células solares de hasta 3" de diámetro. la El horno se calienta con 8 unidades de 1kw de luz halógena alrededor del tubo de procesamiento con un máx. velocidad de calentamiento de máx. 50c / segundo. El controlador de temperatura de precisión de 50 segmentos está incorporado con una precisión de +/- 1 ° do.


horno

estructura

horno de tubo rtp compacto de 4 " caja de acero de doble capa forro de mullita)

elemento de calefacción

Tubo de luz halógena de 8 piezas (d = 10 l = 300 t = 200, mm)

temp de trabajo

1100 ° C máx. ( el tiempo de retención máximo de este horno RTP será inferior a 600 segundos a 1000ºc ~ 1100ºc, de lo contrario, la junta tórica puede fundirse )

velocidad de calentamiento máxima

50 ° c / seg

velocidad máxima de enfriamiento

64 ° c / min (bajo vacío: 200 mtorr), 117 ° c / min (bajo presión atmosférica)

zona de calentamiento

12 "longitud con 4" zona de temperatura constante dentro de +/- 1 ° c uniformidad

temp. del programa controlador

  • pid automat control via scr (rectificador controlado de silicona) Control de potencia con ángulo de fase disparado, resistencia limitadora de corriente.
  • 30 segmentos programables para un control preciso de la velocidad de calentamiento, la velocidad de enfriamiento y el tiempo de permanencia.
  • por favor haga clic aquí para saber por qué scr es más preciso que ssc (relé de estado sólido).
  • función de auto-tune incorporada con sobrecalentamiento y amp; Protección de rotura de termopar roto.
  • la protección contra sobrecalentamiento y la alarma permiten el funcionamiento sin operario (s).
  • +/- 1ºC de precisión de temperatura.
  • Puerto de comunicaciones RS485.
  • control de pc:
    • una mts-02 módulo de control Se incluye para el control de PC en este horno.
    • La nueva versión del módulo de PC ahora es compatible con Lab View 05/08/2014
    • Se puede pedir una computadora portátil por $ 900 junto con el horno. Recomendamos pedirnos una computadora (laptop) para evitar problemas de instalación de software, ya que Realizaremos la instalación y pruebas antes del envío. .

tubo de cuarzo y amp; portamuestras

  • tamaño del tubo de cuarzo: 4.33 "o.d x 4.05" i.d x 16.2 "de largo
  • El soporte de muestra de 3 "de diámetro se inserta en la brida deslizante, que está hecha de cuarzo
  • se coloca una oblea aln de 3 "de diámetro en el centro del soporte para recocer la muestra hasta 3" de diámetro.
  • Aln tiene una conductividad térmica muy alta, que proporciona la mejor uniformidad de temperatura en el área de la muestra.
  • el portamuestras es removible de la brida

brida de vacío

La brida de alto vacío kf-d25 está hecha de acero inoxidable con doble alta temperatura. Juntas tóricas de silicona, válvulas de aguja.
La brida deslizante facilita la carga de muestras. Soporte de muestra de cuarzo de 3 ". Acoplamiento térmico insertable para una medición precisa.

chaqueta de enfriamiento de agua

  • Se requiere agua de refrigeración.
  • asegúrese de que el caudal de agua de refrigeración sea ≥ 10 l / min, temperatura del agua. & lt; 25ºc; presión & gt; 25 psi.
  • Sugerimos utilizar la serie eq-kj5000. enfriador de agua recirculante como sistema de enfriamiento (por favor, ordene por separado en productos relacionados a continuación) para ahorrar agua.

advertencia: el tiempo de permanencia máximo de este horno rtp debe ser inferior a 600 segundos a 1000ºc ~ 1100ºc con agua del grifo, de lo contrario, la junta tórica puede fundirse. con el uso de un enfriador de agua de recirculación, este tiempo de mantenimiento puede extenderse a 1200 segundos.

medidor de corriente

Se instala un medidor de flujo en el panel frontal para ajustar el flujo de gas de 0 a 160 ml / min.

entrada de alimentación

208-240 ac, 50/60 hz monofásico, 9 kw máx. (& gt; 60a interruptor requerido)

estación de hv
estación de alto vacío

estructura

  • tamaño del carro móvil: 600 (l) x 600 (w) x 700 (w), mm
  • max. carga: 600 libras en la parte superior
  • panel de control de bomba molecular: lcd digital
  • bomba de diafragma y bomba turbo molecular Se instalan dentro de la caja de acero.

grado de vacío

6.3e-5 mbar (con horno de tubo rtp de 4 "en 40 minutos)

panel de control

  • un botón de operación - la bomba de diafragma y la bomba turbo molecular se iniciarán después de presionar el botón de "inicio".
  • sistema controlado velocidad de giro - el controlador controlará la velocidad de la turbina girando hacia arriba y hacia abajo de acuerdo con el nivel de vacío y la tasa de fugas de la cámara de reacción.
  • protección personal - el sistema protegerá la bomba contra daños por sobrecalentamiento y sobrecorriente si la tasa de fugas de la cámara de reacción es demasiado alta para lograr un alto vacío.
  • pantalla LCD - Interfaz de verificación de parámetros de líneas dobles Facilita el manejo del trabajo.
auto prueba dando vueltas

tiempo de inicio

2 minutos

caudal de la bomba de respaldo a 10 mbar

3.8 l / min durante 50 hz y 4.4 l / min durante 60 hz

entrada de alimentación

110v ca o 220v ca conmutable, 50 / 60hz

el consumo de energía

duración / potencia máxima: 100 / 110watt

Datos de envío

peso y dimensión

horno rtp: 110 lb, 760 x 330 x 530 mm (30 "x 13" x 21 "pulgada) l x w x h
estación hv: 40 libras, 600 x 600 x 700 mm (24 "x 24" x 28 ") l x w x h

garantía

Garantía limitada de dos años con soporte de por vida. (Las piezas consumibles, como los tubos de procesamiento, las juntas tóricas no están cubiertas por la garantía, solicite los repuestos en los productos relacionados que se detallan a continuación).

portátil, software y amp; control wifi (opcional)

  • Nuevo portátil con Microsoft Windows 10 y Microsoft Office 2013 (30 días de prueba gratuita) para uso inmediato.
  • Sistema de control de temperatura basado en Labview. permite al usuario editar el perfil de temperatura, administrar la receta de tratamiento térmico, registrar y trazar datos para los hornos mti.
  • Un control remoto inalámbrico proporciona hasta 300 metros de rango de operación.
  • Las características anteriores están disponibles bajo petición a un costo adicional (hasta $ 1,000). Por favor contáctenos para más información.

conformidad

  • ce certificado
  • el horno está listo para pasar ul 61010, iec 61010, spe-1000 probado por nrtls a un costo adicional. Por favor, póngase en contacto con nosotros para obtener información detallada y presupuesto.
  • Se cumple el controlador de temperatura y se certifica ce
  • La estación de alto vacío está certificada.



Tube Furnace









paquete:

1 paquete estándar exportado: protección anticolisión interna, embalaje de caja de madera de exportación externa.

2 envío por expreso, por aire, por mar según los requisitos de clientes para encontrar la manera más conveniente.

3 responsables del daño durante el proceso de envío, cambiará la parte dañada por usted de forma gratuita.

el tiempo de entrega : 15-20 días después de confirmar el pedido, la fecha de entrega detallada debe decidirse de acuerdo con

Temporada de producción y cantidad de pedido.





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