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potencia de entrada
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monofásico 220 vac, 50 / 60hz
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700 w (incluida la bomba de vacío)
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para usar 110 vac, incluiremos un transformador para usted. seleccione el voltaje en las opciones del producto
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potencia de salida
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cámara de vacío
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cámara de vacío: 150 mm id x 165 mm od x 150 mm h, hecha de cuarzo de alta pureza
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brida de sellado de acero inoxidable con junta tórica plana
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etapa de muestra con calentador
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Tamaño del escenario: 50 mm de diámetro.
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rango de distancia de pulverización catódica: 25 - 40 mm ajustable
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Etapa giratoria con tres posiciones de pulverización (controlada por la pantalla táctil)
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calentador de sustrato está integrado con una temperatura máxima de calentamiento de 500 ° c
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El controlador de temperatura pid con una precisión de +/- 1 ° c está integrado en la pantalla táctil
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panel de control
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Pantalla táctil a color de 6 "con integración plc para una fácil operación
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el medidor de vacío, el medidor de corriente de pulverización catódica y el control de temperatura del sustrato están integrados en el panel de la pantalla táctil
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perillas de ajuste en el panel frontal para la entrada de gas y el control de la corriente de pulverización
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La posición de pulverización, el temporizador de pulverización y el registro de procesos son accesibles desde la pantalla táctil
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proteger
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acero inoxidable jaula de escudo está incluido para protección adicional
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objetivos de bombardeo
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requisitos de tamaño objetivo: 47 mm de diámetro. x 2.5 mm máx.
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Se incluyen tres objetivos en el paquete estándar para uso inmediato:
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au target , 47 mm de diámetro x 0,12 mm
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objetivo ag , 47 mm de diámetro x 0.5 mm
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objetivo de cu , 47 mm de diámetro x 2.5 mm
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varios objetivos están disponibles para ordenar en tmax
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bomba aspiradora
(Opcional)
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Puerto de vacío KF25 incorporado para conectar a una bomba de vacío.
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Se requiere bomba de vacío con conector kf25, pero no incluida. el usuario puede elegir
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una bomba de vacío mecánica de doble etapa para vacío hasta 1.0e-2 torr.
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o un bomba turbo para vacío de hasta 1.0e-5 torr
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la bomba de vacío se puede enchufar a la toma de corriente a la izquierda del recubridor para control automático
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dimensiones
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440 mm l × 330 mm w × 455 mm h
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Peso neto
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conformidad
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aprobación del ce
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la certificación cumplida (ul 1450) está disponible a pedido a un costo adicional, comuníquese con nuestro representante de ventas para solicitar un presupuesto
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garantía
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un año limitado con soporte de por vida
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notas de aplicación
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para obtener la mejor resistencia de adhesión del sustrato de película, limpie la superficie del sustrato antes de recubrir:
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limpieza ultrasónica con los siguientes baños secuenciales: (1) acetona, (2) alcohol isopropílico, para eliminar el aceite y la grasa. seque el sustrato con n2, luego hornee en vacío para eliminar la humedad absorbida
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La limpieza por plasma puede ser necesaria para la rugosidad de la superficie, la activación de enlaces químicos de la superficie o la eliminación de contaminación adicional
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Se podría aplicar una capa de tampón delgada (~ 5 nm), como cr, ti, mo, ta, para mejorar la adhesión de metales y aleaciones
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Se debe instalar un regulador de presión de dos etapas (no incluido) en el cilindro de gas para limitar la presión de salida del gas a menos de 0.02 mpa para un uso seguro. por favor use & gt; 5n pureza ar gas para pulverización de plasma
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el recubrimiento por pulverización catódica se puede colocar en una guantera de gas ar y n2 para el recubrimiento
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¡Alto voltaje! Los cabezales de bombardeo se conectan a alto voltaje. por seguridad, el operador debe apagar el equipo antes de cargar la muestra y las operaciones de cambio de objetivo
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Este modelo no es adecuado para recubrir material metálico ligero como al, mg, zn, ni, etc. debido a la baja energía. por favor considere nuestro recubrimiento de pulverización catódica de magnetrón o nuestro recubrimiento de evaporación térmica. haga clic en las imágenes a continuación para obtener más detalles
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