Máquina de recubrimiento por pulverización de plasma combinatoria de laboratorio con tres fuentes de pulverización de magnetrón de 2 ''
vtc-600-3hd-ld es un sistema de pulverización combinatoria de plasma con tres fuentes de pulverización de magnetrón de 2 "y tres fuentes de alimentación de rf / dc. dicho sistema de pulverización catódica es capaz de pulverizar conjuntamente hasta tres materiales objetivo diferentes y crear diversos perfiles de composición en todo el sustrato (por ejemplo, materiales ternarios para baterías recargables de iones de litio) . Este sistema también es adecuado para el recubrimiento secuencial de películas de múltiples capas como ferroeléctrico, aleación, semiconductor, cerámica, dieléctrico, óptico, óxido, duro, ptfe, etc.
presupuesto
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estructura compacta
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potencia de entrada
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monofásico 220 vac 50/60 hz
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2000 w (incluyendo bomba de vacío y enfriador de agua)
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fuente de poder
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Se integran tres fuentes de energía de pulverización catódica en una caja de control (haga clic en la imagen a continuación para ver las especificaciones detalladas)
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fuente de cc: 500 w de potencia para recubrir materiales metálicos (foto 1)
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Fuente de RF: 300 w de potencia, frecuencia de 13.56 mhz para recubrir materiales no conductores (foto 2)
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cabeza de pulverización catódica de magnetrón
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tres cabezales de pulverización magnetrón de 2 " con chaquetas y persianas de refrigeración por agua incluidas
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Un modelo de cabeza sputting también disponible.
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requisito de tamaño objetivo: 2 "de diámetro
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rango de espesor: 0.1 - 5 mm para objetivos metálicos y no conductores (incluida la placa de respaldo)
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uno objetivo de acero inoxidable y un grado de investigación objetivo al2o3 están incluidos para pruebas de demostración
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los objetivos opcionales de pulverización catódica de 2 "(o placa de respaldo) están disponibles a pedido a un costo adicional.
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receta recomendada de pulverización catódica y consejos útiles
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recubridor personalizado: dos dc - una rf; dos rf - una cc; tres dc; tres rf (seleccione de las opciones del producto)
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opcional: se puede pedir un cable rf de 148 cm a un costo adicional para el reemplazo
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cámara de vacío
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cámara de vacío: 300 mm de diámetro. x 300 mm de altura, de acero inoxidable
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ventana de visualización: dos piezas de 100 mm de diámetro. vaso. uno fijo uno desmontable para limpieza y reemplazo
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La tapa con bisagras con poste de alimentación neumática permite cambiar fácilmente el objetivo
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etapa de muestra
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El portamuestras es una plataforma giratoria y calentable hecha de un calentador de cerámica con cubierta de cobre.
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tamaño del soporte de muestra: 140 mm de diámetro. para. 4 "oblea máx.
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velocidad de rotación: 1 - 20 rpm ajustable para un recubrimiento uniforme
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la temperatura del soporte es ajustable de rt a 500 ° c max (2 h max) con precisión +/- 1.0 ° c a través de un controlador de temperatura digital
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control de flujo de gas
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Se instalan dos controladores de flujo másico de precisión (MFC) para permitir la entrada de dos tipos de gases
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caudal: 0 - 200 ml / min & amp; 0 - 100 ml / min ajustable en el panel de control de la pantalla táctil
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la válvula de entrada de aire está instalada para liberar el vacío
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estación de bombeo de vacío
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Se incluye una estación de bombeo móvil. el pulverizador se puede colocar encima de la estación
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La bomba turbo de alta velocidad a una velocidad de 80 l / s se combina con una bomba mecánica de dos etapas (220 l / min) para un nivel de vacío máximo y una velocidad de bombeo más rápida
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nivel de vacío estándar conectado con la cámara: & lt; 4.0e-5 torr. . (1.0e-6 torr con cámara de cocción)
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opcional a un costo adicional
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Si elige una turbobomba de alta velocidad de 150 l / s, el vacío puede alcanzar 10-6 torr con cámara (6x10-7 torr con horneado)
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para el vacío ultra alto hasta 10 ^ -7 torr, se necesita una bomba getter (100l / s h2 & amp; o2) además de la bomba turbo. consulte a nuestros ingenieros para una personalización detallada.
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Turbobomba de alta velocidad 150l / s
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bomba getter
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enfriador de agua
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una temperatura digital controlada enfriador de agua recirculante está incluido.
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rango de refrigeración: 5 ~ 35 ° c
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caudal: 16 l / min
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presión de la bomba: 14 psi
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Opcional
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cuarzo preciso monitor de espesor de película es opcional, que puede estar dentro de la cámara para controlar el espesor del recubrimiento con una precisión de 0,10 Å
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precisión película delgada & amp; sistemas de análisis de revestimiento - eq-tfms-ld está disponible a un costo adicional
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varios objetivos metálicos y de óxido de 2 "están disponibles a pedido a un costo adicional. las placas de respaldo de cobre y epoxi plateado se pueden pedir a tmax
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dimensiones totales
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peso neto del recubridor
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peso de envío & amp; dimensiones
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total 3 paletas
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365 libras, 48 "x 40" x 45 "
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390 libras, 48 "x 40" x 49 "
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210 libras, 48 "x 40" x 30 "
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conformidad
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aprobación del ce
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la certificación cumplida (ul 1450) está disponible a pedido a un costo adicional, comuníquese con nuestro representante de ventas para obtener el presupuesto
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garantía
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garantía limitada de un año con soporte de por vida
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notas de aplicación
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Se debe instalar un regulador de presión de dos etapas (no incluido) en el cilindro de gas para limitar la presión de salida de gas por debajo de 0.02 mpa para un uso seguro
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Para eliminar el oxígeno de la cámara, tmax le sugiere que use 5% de hidrógeno + 95% de nitrógeno para limpiar la cámara 2-3 veces, lo que puede reducir el nivel de oxígeno a & lt; 10 ppm
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por favor use & gt; Gas argón de pureza 5n para pulverización catódica. a pesar de que la pureza de 5n generalmente contiene 10 - 100 ppm de oxígeno y H2O dependiendo del proveedor. tmax sugiere que uses dispositivo de purificación de gas para purificar el gas antes de llenarlo.
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Para un mejor rendimiento, los objetivos no conductores deben instalarse con una placa de respaldo de cobre. consulte el video de instrucciones a continuación para conocer la vinculación de objetivos
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Lith suministra sustrato de cristal único de la A a la Z
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litio los recubrimientos de pulverización catódica han recubierto con éxito zno en todos 2 o 3 sustrato a 500 ° c
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pruebe la flexibilidad de la película delgada / electrodo recubierto con probador de flexión de mandril eq-mbt-12-ld .
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¡Alto voltaje! Los cabezales de bombardeo se conectan a alto voltaje. por seguridad, el operador debe apagar el generador de rf / dc antes de cargar la muestra y las operaciones de cambio de objetivo
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No use agua del grifo en el enfriador de agua. debe usar refrigerantes de protección contra el óxido para evitar el óxido y la corrosión.
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paquete:
1 paquete estándar exportado: protección anticolisión interna, embalaje de caja de madera de exportación externa.
2 envío por expreso, por aire, por mar de acuerdo con los requisitos de los clientes para encontrar la forma más adecuada.
3 responsable del daño durante el proceso de envío, cambiará la parte dañada por usted de forma gratuita.
el tiempo de entrega : 15-20 días después de confirmar el pedido, la fecha de entrega detallada debe decidirse de acuerdo con
Temporada de producción y cantidad de pedido.
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