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estructura & amp; caracteristicas
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Cámara de cuarzo de 6 "od x 10” h para una fácil limpieza y carga de muestras
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Soporte giratorio de muestra de 2 "de diámetro para un recubrimiento de película uniforme
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Calentador de bobina de tungsteno y crisol de alúmina para recubrimientos a alta temperatura de hasta 1700 ºc
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control de temperatura de precisión con 30 segmentos programables y precisión de +/- 1 ºc
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alto vacío se puede lograr hasta 1.0e-5 torr a través de turbobomba opcional
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el puerto de flujo de gas y la válvula están integrados para la purga de la cámara y la posibilidad de cvd
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potencia de entrada
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voltaje de entrada: 208 - 240 vac 50/60 hz, monofásico
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potencia de entrada: 500 w
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potencia de salida: 40 a corriente máxima. corriente de trabajo recomendada & lt; 20 a
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cable de alimentación incluido sin el enchufe
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control de temperatura & amp; calentadores
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El calentador de bobina de tungsteno con un termopar está incorporado en la parte inferior del crisol de alúmina (para control de temperatura (imagen 1). Consulte la imagen de la izquierda para ver las dimensiones
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termopar tipo s estándar (incluido e instalado) - calefacción desde 200 ºc - 1500 ºc (foto 2)
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termopar tipo b opcional (con costo adicional) - calefacción de 1200 ºc - 1700 ºc
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Un controlador de temperatura digital con 30 segmentos programables y una precisión de +/- 1 ºc (imagen 3)
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Los ajustes de tiempo del controlador de temperatura están en segundos. Se recomienda limitar la velocidad de calentamiento / enfriamiento a 0.3 ºc / s (o 20 ºc / min) por debajo de 1200 ºc, y limitar a 0.15 ºc / s (o 10 ºc / min) de 1200 a 1700 ºc
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para calentamiento continuo por encima de 1300 ºc, limite el tiempo de operación a menos de 1 hora para preservar la vida útil de la junta tórica de la brida inferior
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Para un recubrimiento rápido de hasta 2000 ° C, como el necesario en el recubrimiento de carbono, el usuario puede retirar el termopar, el bloque térmico de alúmina y el crisol de alúmina, cargar el material de evaporación directamente en el calentador de bobina de tungsteno y usar el modo de control manual actual (imagen 4 )
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Se incluyen cuatro crisoles de alúmina (hasta 1700 ºc) y dos calentadores de bobina de tungsteno. Consulte la sección opcional para pedir piezas de repuesto.
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portamuestras
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uno de 50 mm de diámetro la platina giratoria de muestra y su obturador están instalados en la brida superior.
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velocidad de rotación: 5 rpm
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La distancia desde el portamuestras a la fuente de evaporación es ajustable de 40 mm a 85 mm.
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monitor de espesor de película (opcional)
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sensor de precisión de espesor de cuarzo es opcional. puede integrarse en la cámara para proporcionar un monitoreo instantáneo del espesor de la película con una precisión de 0.10 Å. La unidad de pantalla LED fuera de la cámara puede:
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ingrese la información del material de recubrimiento basada en la base de datos incluida
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mostrar el espesor total del recubrimiento y la velocidad del recubrimiento
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precisión película delgada & amp; sistemas de análisis de revestimiento - eq-tfms-ld está disponible a un costo adicional
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vacío
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El puerto de vacío kf25 está instalado para conectarse a una bomba de vacío
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el vacío más alto puede alcanzar & lt; 4.0e-6 torr bombeando durante la noche con una bomba turbomolecular opcional
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Se requiere una bomba de vacío para el recubrimiento. elija entre las siguientes opciones de producto
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Sin bomba de vacío. medidor de diafragma capacitivo anticorrosivo se incluye para aspirar hasta 1.0e-6 torr
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Bomba de vacío de paletas rotativas de doble etapa con trampa de vapor para eliminar la neblina de aceite, que puede alcanzar un vacío de hasta 1.0e-2 torr para evaporar materiales metálicos nobles, como oro, plata y materiales orgánicos.
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Entrada de Gas
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El accesorio de tubo de 1/4 está incorporado para purgar la cámara o formar gas
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Una válvula de aguja está incorporada para controlar el flujo de gas
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Opcional
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extra crisol de alúmina y calentador de bobina de tungsteno se puede pedir a tmax a un costo adicional
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Se pueden usar un total de 4 crisoles de fuentes de evaporación para depositar múltiples materiales diferentes para cultivar capas múltiples una por una en la misma atmósfera de cámara.
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dimensión global
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dimensión de la cámara de cuarzo
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o.d .: 165 mm
i.d .: 150 mm
longitud: 250 mm
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conformidad
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garantía
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garantía limitada de un año con soporte de por vida
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Peso neto
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peso de envío & amp; dimensiones
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130 libras, 40 "x 30" x 32 "
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notas de aplicación
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Para lograr el alto vacío requerido para la evaporación de algunos materiales, el usuario puede
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revise la cámara, la junta tórica y la brida en busca de partículas, fibras o rayones. use un tejido sin pelusa humedecido con alcohol isopropílico (ipa) para limpiar la superficie
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use cinta calentadora para hornear la cámara a 150 ºc y precaliente el calentador de la bobina y el crisol a 500 ºc mientras bombea con la bomba turbo opcional durante al menos 2 horas
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bombee la cámara durante la noche sin calentar si se necesita un vacío superior a 1.0e-5 torr
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el revestidor se puede colocar en una guantera de gas ar o n2 para la evaporación térmica de la humildad & amp; materiales sensibles al oxígeno, como li metal.
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¡No inicie el programa de calefacción ni aumente manualmente la corriente sin una cámara cerrada y una aspiradora!
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¡no libere el vacío ni deje de bombear cuando el recubridor está en operación de evaporación! ¡Durante el enfriamiento del calentador, deje de bombear o libere el vacío solo cuando la temperatura baje a menos de 100 ºc!
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