estructura del horno
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horno, dos controladores de temperatura, medidores de flujo de gas de dos canales están integrados en un marco móvil de aleación de aluminio.
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la cámara está hecha de tubo de cuarzo fundido de alta pureza con dimensión de 11 "od / 10.8" id x 9 "h.
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Las bridas de vacío están hechas de acero inoxidable 316 y levantadas por motor eléctrico.
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dos placas calefactoras ir de 5 "x5" y el espacio son ajustables.
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El soporte de muestra superior es giratorio a la velocidad 0 - 7 rpm.
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La brida superior con un puerto de vacío kfd-25 y una salida de gas (se requiere una tubería de 1/4 ") puede deslizarse hacia arriba o hacia abajo manualmente para cargar y descargar el sustrato y el material evaporado fácilmente.
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la brida inferior tiene un puerto de vacío kfd-25 con una entrada de gas (se requiere una tubería de 1/4 ") con válvulas de aguja.
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la brida está sellada por juntas tóricas de silicona doble y puede alcanzar un máx. La presión de vacío de 10e-2 torr por una calidad bomba mecánica y 10e-5 torr por una bomba molecular (la bomba de vacío no está incluida, solicite por separado).
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Se instala un medidor de vacío digital en la brida superior.
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El medidor digital de vacío anticorrosión de precisión está en el paquete estándar (desde 2016.03.24) .
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calentador y portamuestras
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Dos calentadores controlados independientemente con espacio ajustable manualmente de 2 a 30 mm.
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Se utilizan lámparas halógenas de 20 piezas como elemento de calentamiento para el procesamiento térmico rápido.
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Los calentadores están hechos de acero inoxidable con camisa de agua fría para reducir la radiación de calor y son capaces de enfriarse rápidamente.
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5 "de diámetro. El soporte circular para obleas está integrado en el calentador superior para sostener el sustrato.
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Se incluye un juego de placas de aluminio con alta conductividad térmica (5 "de diámetro x 0,5 mm de grosor) (colóquelas en la parte posterior del sustrato para que se caliente uniformemente).
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se incluye un enfriador de agua circulante de 58 l / min para ahorrar fuente de agua (haga clic en la imagen a continuación para ver las especificaciones detalladas).
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el soporte de muestra superior es giratorio a velocidad ajustable 0 - 7 rpm
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controlador de temperatura
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Dos controladores de temperatura digitales de precisión con 30 segmentos programables ofrecen control independiente de los calentadores superior e inferior.
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cada controlador tiene una función de autoajuste pid para proteger a los calentadores del exceso y una función de alarma para evitar que el sobrecalentamiento dañe los pares térmicos.
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interfaz de comunicación de pc & amp; el software está instalado para (haga clic en la imagen a continuación para obtener detalles) el perfil de temperatura de grabación que se muestra a continuación.
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temperatura de trabajo
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temperatura máxima para cada calentador: ≤ 800ºc.
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diferencia máxima de temperatura entre dos calentadores: ≤ 300ºc depende del espacio entre dos calentadores:
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espaciamiento 30 mm máx. diferencia de temperatura: 315ºc @ solo calefacción inferior
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calefacción y amperios; velocidad de enfriamiento
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calentamiento: & lt; 8ºc / s (solo calefacción individual)
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enfriamiento: & lt; 10ºc / s (600 - 100ºc) máx.
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pareja térmica
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Se instalan dos pares térmicos de tipo k en los calentadores superior e inferior por separado.
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tensión de trabajo
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208 - 240vac, monofásico, disyuntor de aire 50a
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Requisitos de energía
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10 kw en total
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peso de envío & amp; dimensión
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dos paletas: 525 libras y 48 "x 40" x 87 "y 165 libras con una dimensión de 39x31x29"
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Opcional
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Se requiere una bomba de vacío. ordene por separado haciendo clic en la primera imagen de la izquierda debajo. El nivel de vacío puede alcanzar ≤ 10e-2 torr mediante bomba mecánica.
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si usa gas corrosivo, use una trampa fría o una bomba seca anticorrosiva se muestra en la imagen 2-3 a un costo adicional.
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puede elegir el sistema digital de suministro de gas mfc haciendo clic en la primera imagen de la derecha a continuación.
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garantía
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Un año limitado con soporte de por vida (las piezas consumibles como el tubo de cuarzo y las lámparas de calefacción no están cubiertas por la garantía).
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notas de aplicación & amp; advertencias
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Los hornos tubulares con tubo de cuarzo están diseñados para su uso bajo vacío y baja presión & lt; 0.2 bares / 3 psi / 0.02 mpa. las presiones de vacío solo se pueden usar de manera segura hasta 1000 ° c. El caudal de los gases debe limitarse a & lt; 200 sccm (o 200 ml / min) para reducir los choques térmicos al tubo.
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una atención : se debe instalar un regulador de presión de dos etapas en el cilindro de gas para limitar la presión a menos de 3 psi para una operación segura.
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El soporte de pie de este horno está diseñado para transportar distancias cortas en la superficie plana (sin hoyos ni golpes) solamente.
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Louis@lithmachine.com
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