sistema de recubrimiento por pulverización catódica de magnetrón compacto con fuentes duales de 2 "
vtc-600-2hd-ld es un sistema compacto de pulverización catódica de magnetrón con fuentes duales de 2 ", p. ej., una fuente de CC para recubrir una película metálica y la otra fuente de RF para recubrir material no metálico. Este sistema de recubrimiento está diseñado para recubrir capas de película simples o múltiples para una amplia gama de materiales, como aleaciones, ferroeléctricos, semiconductores, cerámicos, dieléctricos, ópticos, ptfe, etc. (revisado desde el 25/09/2015. el monitor de espesor de película no está incluido)
presupuesto
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estructura compacta
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potencia de entrada
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monofásico 220 vac 50/60 hz
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2000 w (incluyendo bomba de vacío y enfriador de agua)
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fuente de poder
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Dos fuentes de energía de sputtering están integradas en una caja de control
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fuente de cc: 500 w de potencia para recubrir materiales metálicos (foto 1)
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Fuente de RF: 300 w de potencia, frecuencia de 13.56 mhz para recubrir materiales no conductores (foto 2)
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cabeza de pulverización catódica de magnetrón
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dos cabezales de pulverización magnetrón de 2 " con chaquetas y persianas de refrigeración por agua incluidas
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un modelo de cabezal sputting también disponible en esta página de producto (en opciones de producto)
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uno está conectado a una fuente de CC para recubrir materiales metálicos
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el otro está conectado a la fuente de RF para materiales no conductores
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requisito de tamaño objetivo: 2 "de diámetro
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rango de espesor: 0.1 - 5 mm para objetivos metálicos y no conductores (incluida la placa de respaldo)
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uno acero inoxidable objetivo objetivo y un grado de investigación objetivo al2o3 están incluidos para pruebas de demostración
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los objetivos opcionales de pulverización catódica de 2 "(o placa de respaldo) están disponibles a pedido a un costo adicional.
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receta recomendada de pulverización catódica y consejos útiles
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revestidor personalizado: dos cabezales de CC sin RF; dos cabezas rf sin dc; 3 cabezas rf están disponibles bajo petición
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opcional: se puede pedir un cable rf de 148 cm a un costo adicional para el reemplazo (haga clic en la primera foto de la derecha para ordenar)
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cámara de vacío
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cámara de vacío: 300 mm de diámetro. x 300 mm de altura, de acero inoxidable
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ventana de visualización: dos piezas de 100 mm de diámetro. vaso. uno fijo uno desmontable para limpieza y reemplazo
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La tapa con bisagras con poste de alimentación neumática permite cambiar fácilmente el objetivo
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etapa de muestra
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El portamuestras es una plataforma giratoria y calentable hecha de un calentador de cerámica con cubierta de cobre.
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tamaño del soporte de muestra: 140 mm de diámetro. para. 4 "oblea máx.
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velocidad de rotación: 1 - 20 rpm ajustable para un recubrimiento uniforme
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la temperatura del soporte es ajustable de rt a 500 ° c max (2 h max) con precisión +/- 1.0 ° c a través de un controlador de temperatura digital
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control de flujo de gas
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Se instalan dos controladores de flujo másico de precisión (MFC) para permitir la entrada de dos tipos de gases
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caudal: 0 - 200 ml / min ajustable en el panel de control de la pantalla táctil
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la válvula de entrada de aire está instalada para liberar el vacío
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estación de bombeo de vacío
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Se incluye una estación de bombeo móvil. el pulverizador se puede colocar encima de la estación
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La bomba turbo de alta velocidad a una velocidad de 80 l / s se combina con una bomba mecánica de dos etapas (220 l / min) para un nivel de vacío máximo y una velocidad de bombeo más rápida
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nivel de vacío estándar conectado con la cámara: & lt; 4.0e-5 torr. . (1.0e-6 torr con cámara de cocción)
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opcional a un costo adicional
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Si elige una turbobomba de alta velocidad de 150 l / s, el vacío puede alcanzar 10-6 torr con cámara (6x10-7 torr con horneado)
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para el vacío ultra alto hasta 10 ^ -7 torr, se necesita una bomba getter (100l / s h2 & amp; o2) además de la bomba turbo. consulte a nuestros ingenieros para una personalización detallada.
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enfriador de agua
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una temperatura digital controlada enfriador de agua recirculante está incluido.
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rango de refrigeración: 5 ~ 35 ° c
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caudal: 16 l / min
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presión de la bomba: 14 psi
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Opcional
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cuarzo preciso monitor de espesor de película es opcional, que puede estar dentro de la cámara para controlar el espesor del recubrimiento con una precisión de 0,10 Å
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precisión película delgada & amp; sistemas de análisis de revestimiento - eq-tfms-ld está disponible a un costo adicional
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varios objetivos metálicos y de óxido de 2 "están disponibles a pedido a un costo adicional. las placas de respaldo de epoxi y cobre plateado se pueden pedir en mti
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dimensiones totales
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peso neto del recubridor
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peso de envío & amp; dimensiones
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total de 2 paletas
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# 1: 520 libras, 52 "x 40" x 50 "
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# 2: 420 libras, 48 "x 40" x 45 "
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conformidad
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aprobación del ce
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la certificación cumplida (ul 1450) está disponible a pedido a un costo adicional, comuníquese con nuestro representante de ventas para solicitar un presupuesto.
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garantía
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garantía limitada de un año con soporte de por vida
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notas de aplicación
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Se debe instalar un regulador de presión de dos etapas (no incluido) en el cilindro de gas para limitar la presión de salida de gas por debajo de 0.02 mpa para un uso seguro
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Para eliminar el oxígeno de la cámara, le sugerimos que use 5% de hidrógeno + 95% de nitrógeno para limpiar la cámara 2-3 veces, lo que puede reducir el nivel de oxígeno a & lt; 10 ppm
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por favor use & gt; Gas argón de pureza 5n para pulverización catódica. a pesar de que la pureza de 5n generalmente contiene 10 - 100 ppm de oxígeno y H2O dependiendo del proveedor. mti te sugiere usar dispositivo de purificación de gas para purificar el gas antes de llenarlo.
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Para un mejor rendimiento, los objetivos no conductores deben instalarse con una placa de respaldo de cobre. consulte el video de instrucciones a continuación para conocer la vinculación de objetivos
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tmax suministra sustrato de cristal único de la a a la z
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Los recubrimientos de pulverización catódica tmax han recubierto con éxito zno en todos 2 o 3 sustrato a 500 ° c
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pruebe la flexibilidad de la película delgada / electrodo recubierto con probador de flexión de mandril eq-mbt-12-ld .
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¡Alto voltaje! Los cabezales de bombardeo se conectan a alto voltaje. por seguridad, el operador debe apagar el generador de rf / dc antes de cargar la muestra y las operaciones de cambio de objetivo
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No use agua del grifo en el enfriador de agua. use refrigerante, agua di, agua destilada o aditivos anticorrosivos con agua
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paquete:
1 paquete estándar exportado: protección anticolisión interna, embalaje de caja de madera de exportación externa.
2 envío por expreso, por aire, por mar de acuerdo con los requisitos de los clientes para encontrar la forma más adecuada.
3 responsable del daño durante el proceso de envío, cambiará la parte dañada por usted de forma gratuita.
el tiempo de entrega : 15-20 días después de confirmar el pedido, la fecha de entrega detallada debe decidirse de acuerdo con
Temporada de producción y cantidad de pedido.
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