laboratorio 5 pistolas rf plasma magnetrón sistema de pulverización catódica para la iniciativa (mgi) investigación de película delgada
vtc-5rf es un sistema de pulverización por plasma de magnetrón de plasma de 5 pistolas diseñado para la investigación de película delgada de la iniciativa de genoma de material de alto rendimiento (mgi), que permite la exploración de nuevas generaciones de materiales mediante pulverización combinatoria para materiales metálicos y no metálicos. El sistema es capaz de un recubrimiento combinatorio de cinco elementos de hasta 16 muestras con diferentes composiciones, lo que lo hace especialmente bueno para la búsqueda de materiales de electrolitos de estado sólido de alto rendimiento, aleaciones magnéticas y materiales multiferroicos.
presupuesto
|
caracteristicas
|
-
5 pistolas pulverizadoras de magnetrón para 5 materiales objetivo diferentes
-
Dependiendo de las fuentes de alimentación utilizadas (rf o dc), se pueden depositar materiales metálicos y no metálicos.
-
capaz de pulverizar 5 materiales objetivo para producir diversas composiciones a través de diferentes tiempos / velocidades de pulverización
-
Con 5 fuentes de alimentación opcionales, se pueden pulverizar 5 materiales de destino al mismo tiempo para la pulverización combinatoria
-
Se pueden depositar 16 muestras en un lote con una máscara y un soporte giratorio para muestras
|
|
potencia de entrada
|
-
monofásico 220 vac, 50/60 hz
-
1000 w (incluyendo bomba de vacío y enfriador de agua)
|
|
fuente de alimentación
|
-
Se incluye un generador de RF de 13.5 mhz, 300 w auto-match y se conecta a los cabezales de pulverización catódica
-
El interruptor giratorio puede activar un cabezal de pulverización catódica a la vez. los cabezales de pulverización catódica se pueden cambiar "en el plasma" sin romper el vacío durante un proceso de múltiples capas.
-
múltiples fuentes de alimentación de RF son opcionales, lo que permite al usuario bombardear múltiples objetivos al mismo tiempo para bombardeo combinatorio
-
La computadora portátil con software de control está disponible a un costo adicional para controlar el tiempo de bombardeo y la potencia de cada pistola RF
|
|
Opcional
|
-
puede elegir la fuente de alimentación de CC para la pulverización catódica metálica
-
Con cinco fuentes de alimentación de CC o RF, se pueden pulverizar 5 materiales objetivo al mismo tiempo para la pulverización combinatoria
|
|
cabeza de pulverización catódica de magnetrón
|
-
Se incluyen cinco cabezales de pulverización catódica de magnetrón de 1 "con camisas de enfriamiento de agua que se insertan en la cámara de cuarzo mediante abrazaderas rápidas
-
El reemplazo del cable RF se puede comprar en tmax
-
un obturador operado manualmente está construido en la brida (ver foto # 3)
-
se incluye un enfriador de agua de recirculación controlado digitalmente de 10 l / min para enfriar los cabezales de pulverización catódica
-
|
|
objetivo de bombardeo
|
-
requisito de tamaño objetivo: 1 "diámetro x 1/8" espesor máximo
-
rango de distancia de pulverización catódica: 50 - 80 mm ajustable
-
rango de ángulo de pulverización catódica: 0 - 25 ° ajustable
-
Objetivo de 1 "de diámetro y cu 2 o 3 objetivo se incluyen para pruebas de demostración
-
varios objetivos de pulverización por pulverización de óxido de 1 "están disponibles a pedido a un costo adicional
-
para la unión al blanco, se incluyen placas de respaldo de cobre de 1 mm y 2 mm. epoxi plateado (foto n. ° 1) y placas de respaldo de cobre adicionales (foto n. ° 2) se pueden pedir a tmax
|
|
cámara de vacío
|
-
La cámara de vacío está hecha de acero inoxidable 304 con nervio de refuerzo.
-
tamaño interior de la cámara de vacío: 470 mm l × 445 mm d × 522 mm h (~ 105 litros, 18.5 "x17.5" x 20.5 ")
-
redondo 380 mm dia. puerta con bisagras con ventana de vidrio de 150 mm de diámetro
-
rango de temperatura: -15 a 150 ° c
-
nivel de vacío: 4.0e-5 torr con bomba turbo
|
|
portamuestras
|
-
Soporte de muestra giratorio de 150 mm de diámetro para recubrir 16 muestras, un lote con diferentes composiciones
-
El soporte de la muestra y la rotación de la máscara se pueden controlar manualmente mediante un botón o automáticamente mediante un software de control (opcional)
-
la temperatura del portamuestras es ajustable de rt a 600 ° c máx.
|
|
bomba aspiradora
|
-
El puerto de vacío kf40 está integrado para conectarse a una bomba de vacío.
-
se incluye una bomba turbo compacta
-
4.0e-5 torr con bomba turbo opcional
|
|
Opcional
|
-
El sensor de precisión de espesor de cuarzo es opcional. Se puede incorporar a la cámara para controlar el espesor del recubrimiento con una precisión de 0.1 Å (se requiere refrigeración por agua)
-
Conexión USB fácil a la PC para monitoreo remoto de espesor y velocidad de recubrimiento
-
Se incluyen 5 sensores de cuarzo (consumibles)
|
|
Peso neto
|
|
|
conformidad
|
-
aprobación del ce
-
la certificación cumplida (ul 1450) está disponible a pedido a un costo adicional, comuníquese con nuestro representante de ventas para solicitar un presupuesto.
|
|
garantía
|
-
garantía limitada de un año con soporte de por vida
|
|
notas de aplicación
|
-
esta compacta capa de pulverización catódica de magnetrón de 1 "rf está diseñada para recubrir películas delgadas de óxido sobre sustratos de cristal simple de óxido, que generalmente no necesitan una configuración de alto vacío
-
Se debe instalar un regulador de presión de dos etapas (no incluido) en el cilindro de gas para limitar la presión de salida del gas a menos de 0.02 mpa para un uso seguro. por favor use & gt; 5n pureza ar gas para pulverización de plasma
-
para obtener la mejor resistencia de adhesión del sustrato de película, limpie la superficie del sustrato antes de recubrir:
-
limpieza ultrasónica con los siguientes baños secuenciales: (1) acetona, (2) alcohol isopropílico, para eliminar el aceite y la grasa. seque el sustrato con n2, luego hornee en vacío para eliminar la humedad absorbida
-
La limpieza por plasma puede ser necesaria para la rugosidad de la superficie, la activación de enlaces químicos de la superficie o la eliminación de contaminación adicional
-
Se podría aplicar una capa de tampón delgada (~ 5 nm), como cr, ti, mo, ta, para mejorar la adhesión de metales y aleaciones
-
Para un mejor rendimiento, los objetivos no conductores deben instalarse con una placa de respaldo de cobre. consulte el video de instrucciones a continuación (# 3) para la vinculación de objetivos
-
Lith suministra sustrato de cristal único de la A a la Z
-
los revestimientos de pulverización por plasma de litio rf han recubierto con éxito zno en todos 2 o 3 sustrato a 500 ° c
-
pruebe la flexibilidad de la película delgada / electrodo recubierto con probador de flexión de mandril eq-mbt-12-ld .
-
¡Alto voltaje! Los cabezales de bombardeo se conectan a alto voltaje. por seguridad, el operador debe apagar el generador de RF antes de la carga de muestras y las operaciones de cambio de objetivo
-
No use agua del grifo en el enfriador de agua. use refrigerante, agua di, agua destilada o aditivos anticorrosivos con agua
-
|
paquete:
1 paquete estándar exportado: protección anticolisión interna, embalaje de caja de madera de exportación externa.
2 envío por expreso, por aire, por mar de acuerdo con los requisitos de los clientes para encontrar la forma más adecuada.
3 responsable del daño durante el proceso de envío, cambiará la parte dañada por usted de forma gratuita.
el tiempo de entrega : 15-20 días después de confirmar el pedido, la fecha de entrega detallada debe decidirse de acuerdo con
Temporada de producción y cantidad de pedido.
Louis@lithmachine.com
+0086 15959378975
